激光切割机的尺寸精度是由切割机数控机床性能、光束质量、加工现象决定的整体精度，包括定位精度及重复精度等静态精度和表示随切割速度变化的加工形状轨迹精度，即动态精度。光束质量对加工精度的影响来自于光束的圆度、强度的不均匀性以及光轴的紊乱。加工现象决定的精度与氧化反应热混乱产生的异常燃烧、热膨胀、切割面粗糙、材质等被加工件的物性有关。在一般材料的激光切割机过程中，由于切割速度较快，工件的热变形很小，通过对设备的精确调试和必要的程序补偿，光束质量和加工现象对加工尺寸精度影响可以降低到较小的程度，此时切割工件的尺寸的精度主要取决于切割机数控工作台的机械精度和控制精度。