激光切割机的电火花加工是一个非常复杂的过程，其微观过程是热力、流体力、电场力、磁力、电化学等综合作用的结果。这一过程主要分为以
下儿个阶段:
极间介质的电离、击穿，并形成放电通道。自动调节装置控制工具电极向工件缓慢靠近，两极间形成的电场随着距离的减小逐步增大，当两极间距离达到合适的放电间隙(通常为儿微米到几百微
米)时，由于两电极微观表面的凹凸不平，导致两极间电场不均匀，在距离 近的两点间电场强度 大，工作液介质中的杂质(如金属微粒)及自由电子在强大电场作用下，产生碰撞电离，形成带负电和带正电的粒子，带电粒子达到一定数量后导致工作液介质电离、击穿，形成放电通道。
激光切割机的通道间介质的电离消除。一次脉冲放电结束后，保留一段间隔时间，使通道间介质的电离消除，带电粒子恢复为中性粒子，等待下一次脉冲放电的开始，同时及时有效地排出被蚀除下来的金属微粒、碳粒子、气泡等。因此，为了保证电火花加工的正常进行，在两次脉冲放电之间必须有足够的脉冲间隔时间，其大小根据加工具体情况进行调节，脉冲间隔时间的长短影响加工质量和加工效率。