目前市场上可获得的激光源与扫描振镜所能实现的 大钻孔速率为每秒4000孔。采用一种新的光学概念，将高性能振镜扫描和激光分频器的结合使用，为激光切割机实现高速激光钻孔提供了一种潜在解决方案。这种方案要求激光源的平均输出功率达到几百瓦，脉冲宽度保持在微秒范围。目前已经有一些不同的系统解决方案可满足用户的不同需求。

        在高效率太阳能电池生产中，高速激光钻孔是一个重要的加工步骤，特别是在需要在每个单元上钻出10000多个通孔的发射极穿孔卷绕（EWT)太阳能电池的制造中。因为太阳能电池生产线上的单个加工步骤的典型持续时间为1-2秒，每秒10000个通孔的钻孔速度是工业化大规模生产的 低要求。激光钻孔的原理是将高能量的激光束照射在加工物体上，物体被照射部分温度上升，当温度达到熔点时开始熔化，同时吸收熔化潜热；被熔化的物体在激光束照射下继续受热，温度进一步上升，当液体达到汽化温度时，开始汽化，同时吸收汽化潜热，汽化物不断挥发，在物体上不断留下深孔，完成钻孔过程。研究表明，脉冲宽度和脉冲能量是实现高效钻孔的关键因素。通过使用两台Jenoptik Jenlas IR 70激光器，有望在200微米厚的晶圆上实现9600孔/s的钻孔速度，在180微米厚的晶圆上实现12500孔/s的钻孔速度。