激光切割机的切割精度与激光器产生的激光输出功率有关外,还有一个较为重要的关键点在于激光切割机的精密定位。关于定位技术所存在的问题,是如何使微细领域的定位技术扩展到更广的领域,尽管已有报告提出仅利用卫东螺丝可达到纳米精度的超精密定位,但大多数情况下,并不能以简单的进给机构来完成。
尤其是像机器人哪样,以多于一个自由度的位置、姿势(旋转)为目的的多自由度结构,要求必须备有粗微动结构。而且对多自由度的微动结构,为了能精密地控制运动对象在任意方向的运动,各自由度方向具有相同的运动特性,这一段也是很重要的。
若能很好地利用像采用旋转体导向、滚动这样在细微领域中所变现的特性的话,便能实现亚微米级单位技术。此外还有报告提出,利用滚子和滑子之间的摩擦驱动特性实现纳米级超精密定位。